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各種ラマン分光装置の紹介

プロセスラマンシステム



ラマン分光装置
 

従来ラマン分析は非常に困難なものでしたが、近年はいろいろな励起波長のレーザーが開発され、感度も非常に向上し実際のプロセス工程で使えるようになりました。これらには半導体の進歩が大きく関与しています。

  小型で安定した出力のレーザーや、マイナス温度でコントロールされたCCD検出器等が開発され、さらにはファイバープローブの使用がプロセスのオンラインコントロールを可能にしました。
   
ラマン分光装置の構成
   
  ラマン分光装置には基本的に可動部分がありません。ほとんどの装置はレーザー・分光器・CCD検出器・ファイバー等から構成されています。それぞれのコンポーネントは メーカーによって特色があり、またパテントなどで守られています。
プロセスコントロールの目的に応じて選択することが重要です。
   



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