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切削面の分析
~卓上傾斜切削機~

分析用前処理装置

8. 切削面の分析

作成したサンプルの分析にFTIRを使う場合は、顕微ATRを使った顕微ATR (Line Scan)法、もしくはATRイメージング法が非常に有効です。

顕微ATR (Line Scan)法は深さ方向に対しての線情報が得られます。
ATRイメージング法は下図の赤い四角で囲んだ部分の面情報を取り込むことができ、 層構造やある層の中の粒子の散布状況などを視覚的に確認することが可能です。

9. まとめ

卓上傾斜切削機は従来難しいとされてきた材料の深さ方向の層構造の解析に新しい道筋をつけました。
  • 資料面に小さな角度(0.2~10度)の傾斜面を高精度に作製可能
  • 傾斜切削により6~300倍拡大の深さ情報
  • 積層材料の分析、劣化層の定量評価に最適
  • 切削面の分析に顕微ATR(Line Scan)法やATRイメージングが有効
  • 簡単な操作性による作製時間の短縮
  • 持ち運び可能なコンパクトサイズ


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