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傾斜切削面の分析

分析用前処理装置

傾斜切削面の分析

作成したサンプルの分析にFTIRを使う場合は、顕微ATRを使った顕微ATR (Line Scan)法、もしくはATRイメージング法が非常に有効です。

顕微ATR (Line Scan)法は深さ方向に対しての線情報が得られます。
ATRイメージング法は下図の赤い四角で囲んだ部分の面情報を取り込むことができ、 層構造やある層の中の粒子の散布状況などを視覚的に確認することが可能です。